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美國Trek 645 靜電卡盤電源

更新時間:2025-03-13

瀏覽量:240

品牌：美國Trek
型號：Trek 645
描述：Trek 645 軟件驅動型靜電吸盤電源具有記錄的歷史，其效率和吞吐量是其他備件的三倍。Trek 645 具有多功能、值得信賴的性能，可用于多種獨特的工具和工藝，無需為設施中的每個獨特工具或工藝指定新...
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產品介紹

美國Trek 645 靜電卡盤電源描述：

數據表

Trek 645軟件驅動靜電卡盤電源的使用記錄顯示，客戶的效率和吞吐量提高了三倍，是其他電源的三倍。Trek 645幾乎消除了粘性晶圓和晶圓爆裂問題，從而確保更好地控制顆粒污染。鑒于Trek 645的多功能性和性能，它可以用于多種獨特的工具/工藝，從而消除了為設施中的每個獨特工具/工藝指定新供應的需要。

產品亮點

可鎖定的前面板控制界面

每臺設備均提供 NIST 可追溯校準證書

支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術

將靜電吸盤輪廓上傳并存儲到裝置中，并通過用戶友好的軟件界面進行內部存儲

晶圓檢測包括無晶圓、晶圓存在或晶圓夾緊狀態

減少背面氣體錯誤，提高吞吐量，并消除晶圓粘滯/爆裂問題

控制參數，如過流、晶圓存在和晶圓箝位閾值、箝位電壓、偏移電壓和內部或外部幅度/偏移控制

調整過程中的振幅/偏移和輸出控制的多功能性

使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控件控制輸出

配置自定義夾緊和夾緊序列和波形

產品規格

尺寸	43.7 x 421.6 x 457.3 mm (1.72 x 16.6 x 18 in)
面板寬度	482.6 mm (19 in)
重量	3.86 kg (8.5 lb)
接地插座	接地螺栓
電源要求	24 VDC, 1.7 A
工作溫度	0至35°C（32至104°F）
相對濕度	達到85%，不凝結
海拔高度	至2000米（6561.68英尺）
輸出功率（W）	13
最大輸出電流（A）	±0.0065
轉換速率（V/ms）	-
輸出電壓范圍（V）	0 至 ±2000