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美國Coherent J-50MUV-193帶擴(kuò)散器脈沖能量傳感器 1110575

更新時間:2025-03-13

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產(chǎn)品介紹

美國Coherent J-50MUV-193帶擴(kuò)散器脈沖能量傳感器描述:

數(shù)據(jù)表

美國Coherent J-50MUV-193 125 μJ 至 250 mJ 脈沖能量傳感器,重復(fù)頻率高達(dá) 200 pps,光譜范圍為 0.19 至 0.266 μm,有效面積直徑為 50 mm。帶 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器的熱釋電能量傳感器,用于以高達(dá) 200 pps 的速度測量 125 μJ 至 250 mJ 的激光脈沖。

這款 J-50MUV-193 能量傳感器采用 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器,以提高最大能量密度,并針對在 193 nm 下工作的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進(jìn)行了優(yōu)化。該傳感器直接在 248 nm 處校準(zhǔn),包括 193 nm 至 266 nm 的光譜補(bǔ)償。它端接在 SmartProbe DB25 電纜中,直接與 FieldMaxII-TOPFieldMaxII-PLabMax-TOPLabMax-Pro SSIM 儀表兼容。

大型散熱器 (PN 1123432) 可用于通過提高平均功率能力來擴(kuò)展 EnergyMax 傳感器的能量和重復(fù)頻率。

主要特點(diǎn)

193 至 266 nm 光譜范圍

50 mm 有效區(qū)域直徑

125 μJ 至 250 mJ 能量范圍

200 pps 重復(fù)率操作

ISO 17025 認(rèn)證

產(chǎn)品規(guī)格

電纜類型 J DB-25
有效面積直徑 50 mm
探測器涂層 MaxUV
能量范圍 125 μJ 至 250 mJ
波長范圍 190 nm 至 266 nm
噪聲等效能量 <4 μJ
最大熱釋電重復(fù)速率(每秒脈沖數(shù)) 200
最大脈沖寬度(微秒) 86
最大能量密度(毫焦耳/平方厘米) 200 (@193nm, 10納秒)
最大能量密度(毫焦耳/平方厘米) 400 (193 nm,10 ns)
擴(kuò)散 DUV
校準(zhǔn)不確定度 (%)(k=2) ±3
能量線性度 (%) ±3
校準(zhǔn)波長(納米) 193
電纜長度(米) 2.5

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